Предназначен для герметичного разделения в ростовых установках объемов плавильной и приемной камер, с целью обеспечения дозагрузки тигля в процессе выращивания монокристаллов кремния. Тарелка клапана, седло и корпус затвора – водоохлаждаемые. Затвор имеет фиксированные крайние положения тарелки клапана и снабжен конечным выключателем, который позволяет заблокировать возможность ускоренного опускания затравки при закрытом затворе.
Технические характеристики:
Тип затвора шиберный, тарельчатый
Условный проход, 270мм
Управление затвором ручное
Габариты размеры, не более, мм
диаметр 750
высота по присоединительным фланцам 210
общая высота 548
Масса, кг 176
