Комплект узлов для модернизации установок выращивания монокрист
Предназначен для модернизации установок «Редмет-15» и «Редмет-30» с целью увеличения загрузки тигля, а также размеров и массы выращиваемых монокристаллов кремния.
Технические характеристики:
Загрузка тигля до 60 кг
Максимальный диаметр тигля 457 мм
Диаметр выращиваемого кристалла до 200 мм
Длина выращиваемого кристалла до 1500 мм
Установленная мощность- 160 кВт
Величина осевого перемещения затравки - 1600 мм
Скорость перемещения затравки, мм/мин
рабочая 0,3-7,0
маршевая 450
Частота вращения, об/мин
затравки 3-30
тигля 2-20
Величина осевого перемещения тигля - 250 мм
Скорость перемещения тигля, мм/мин:
рабочая 0,03-0,78
маршевая 50
Среда камеры печи, мм.рт.ст.:
вакуум 5х10-2
инертный газ 5-20
Расход инертного газа, 500-2500 л/час
Расход воды до 10 м3 / час
Габариты печного агрегата- 1х1,9х6,5 м
Масса печного агрегата 3,0 т
