Установка для выращивания монокристаллов «КРИСТАЛЛ-АГ»
Установка предназначена для выращивания малодислокационных монокристаллов арсенида галлия методом вертикально направленной кристаллизации. Выращивание монокристаллов осуществляется без рабочего перемещения ампулы за счет изменения температурного режима нагревателей. Среда нагрева воздух.
Технические характеристики:
Диаметр ампулы 95-100 мм
Масса загрузки 6-7 кг
Диаметр кристалла 76-80 мм
Температура в тепловых зонах:
верхней 1270°С
средней 1270°С
нижней 700-710°С
Температурный градиент между средней и нижней зоной 1-10°С/см
Перемещение штока по вертикали:
нерегулируемая скорость 100-120 мм/мин
величина перемещения до 1000 мм
Частота вращения штока 2-20 об/мин
Электропитание установки от 3-х фазной четырехпроводной сети переменного напряжения 380/220В, 50Гц
Установленная мощность- 15 кВт
Габаритные размеры, мм:
печной агрегат 800х1000х3275
силовой блок 600х900х1250
компьютерная стойка 600х600х1800
Масса, кг
печной агрегат 600
силовой блок 400
компьютерная стойка 100
