Система нейтрализации токсичных отходов скруббер «ОКТАВА 4/150»
Предназначена для обеспечения экологической чистоты производства интегральных схем в соответствии с требованиями государственных и отраслевых стандартов по безопасности и экологии при работе системы совместно со скрубберами установок (индивидуальными скрубберами), а также (при авариях индивидуальных скрубберов) непосредственно с установками для нейтрализации гибридных газов, хлоридов.
Технические характеристики:
Общий объем подаваемого на вход загрязненного воздуха (производительность по очищаемому газу) не более 6500 м3/час
Количество обслуживаемых установок типа "Оксид", "Изотрон", "Изоплан", "Изоплаз", не более, 18 шт.
Объем очищающей жидкости 1000 л
Потребляемая электрическая мощность 25 кВт (max)
Нейтрализуемые газы: моносилан, дихлорсилан, аммиак, диборан, фосфин, хлористый водород, фреон, трихлорид бора, гексафторид, вольфрама, закись азота и др.
Габаритные размеры 4500х2000х2000 мм
Масса 1500 кг
Свидетельство о регистрации СМИ – Эл № ФС77-39591 от 22.04.2010 г. выдано Федеральной службой по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций (Роскомнадзор)
