Комплект оборудования для лазерного нанесения и считывания марки
Лазерный маркировщик предназначен для нанесения маркировки в соответствии с требованиями стандарта SEMI M12-92 на ПП пластины методом сканирования лазерного луча.
Считыватель маркировки предназначен для ввода изображения маркировки ПП пластин в компьютер.
Перемещение пластин из кассеты загрузки в зону маркировки или считывания и в кассету выгрузки производится автоматически. Выполняется автоматическая ориентация пластин.
Технические характеристики:
Производительность маркировки и считывания маркировки не менее 200 пластин/час.
Маркировщик и считыватель обеспечивают работу с пластинами 100; 125; 150; 200 мм
Время переналадки для работы с другим диаметром пластин не более 2 ч
