Манипуляторы - перекладчики предназначены для перекладки полупроводниковых пластин между транспортными, технологическими кассетами и кварцевыми лодочками с расширенным набором дополнительных функций.
Технические характеристики:
Количество одновременно перекладываемых пластин:
Ø150 мм, 25, 50 шт.
Ø100 мм 50 шт.
Режим работы:
автоматический
полуавтоматический
ручной
Уровень привносимой дефектности на одной пластине, частиц размером не более 0,1 мкм, 1 см2 не более 2 - 3 шт.
Габаритные размеры, мм:
длина 620
ширина 465
высота 665
Масса: не более 65 кг
