Манипулятор - перекладчик предназначен для перекладки полупроводниковых пластин диаметром 150 мм с расширенным набором функций:
расположением пластин "лицом" друг к другу ("спина" к "спине")
использованием кассет с неравномерным шагом
использованием экранированных кварцевых кассет
введением ориентации пластин по боковому срезу.
Технические характеристики:
Количество перекладываемых пластин 50 шт. / цикл
Производительность не менее 20 циклов / час
Время проведения одного цикла перекладки не более 3 мин
Потребляемая электрическая мощность 0,05 кВт (max)
Режимы работы:
автоматический
полуавтоматический
ручной
Уровень привносимой дефектности на одной пластине, частиц размером не более 0,1 мкм, на см2 не более 2,,,3 частиц
Количество приведенных в негодность (разбитых) пластин 1 / 10000 шт.
Габаритные размеры, мм:
длина 630
ширина 510
высота 950
Масса 60 кг
