Предназначена для автоматической групповой газотермической прецизионной обработки пластин диаметром 150 мм
"Окид-3Д" - для процессов термодиффузии
"Оксид- 3ПО" - для процессов окисления с пирогенным формированием пара.
Технические характеристики:
Количество реакторов, 3 шт.
Диаметр обрабатываемых пластин 150 мм
Диапазон температур 400-1050°С
Нестабильность поддержания температуры (средне - квадратичное отклонение в рабочей тепловой зоне):
в интервале от 400°С до 600°С 1,5
в интервале от 600°С до 800°С 0,75
в интервале от 800°С до 1050°С 0,5
