Предназначена для проведения термических процессов на кремниевых пластинах или слитках до диаметра 250 мм.
Технические характеристики:
Количество рабочих каналов 1 шт.
Диапазон рабочих температур 400-1200°С
Длина рабочей тепловой зоны 900 мм
Нестабильность поддержания температуры 1°С
Скорость нагрева 5...8°С/ мин
Скорость охлаждения 3...5°С/ мин
Рабочие технологические газы: кислород, водород, азот, аргон (или другие по заказу потребителя)
Система управления: микропроцессорная
